半導體・晶圓・醫療品・精密洗淨製程去離子水

科技廠製程用去離子水・無菌超純水系統

高妥善率 EDI 超純水系統・製取高純度去離子水

根據美國水處理領導品牌 [MPW] 發表的白皮書，EDI 超純水定義：
EDI 電解去離子技術是透過離子交換膜技術和離子交換接觸媒介，達到高效能的去礦化作用（去離子）。樹脂會交換陽離子和陰離子中的鹽份（礦物質），形成氫和氫氧化物。此技術藉由正負電不斷自動再生樹脂。樹脂表面吸附的礦物質因電解而製造氫和氫氧根離子，礦物質分離，使去離子樹脂不斷再生
此技術不必再使用化學方式再生樹脂，也無需如傳統離子交換定期停機批次處理

鎮釱超純水系統透過 RO＋EDI 超純水，依純度要求搭配核子級離子交換樹脂（nuclear type），製取去離子水，精煉超純水阻抗值（Resistivity）高達 18 MΩ.cm，亦即超純水導電度約 0.0548 μS/cm
不需再生，水質純度高，穩定性高，是目前妥善率最高的超純水設備，符合各種產業對高規格水質要求

超純水應用產業

有別於 [純水] 的應用，超純水因水質要求更高，常用於半導體業、生化業、製藥業、食品業、核電廠等
水中的蒸發殘留物數以 ppb 為單位，若水中有離子、微粒子、微生物、有機物等，對晶片製程中的氧化膜、多結晶膜、金屬連線等半導體製造形成巨大的影響，使 IC 的電氣特性受到嚴重破壞
各產業有不同超純水標準，半導體業資訊可參考 [國立交通大學半導體業之水資源分析]

成功案例 - 國立清華大學實驗室

以下為清大研究所用於製程的 6T/HR 超純水設備：RO＋EDI 超純水＋核子級離子交換樹脂

▽ 國立清華大學實驗室水質要求，包含阻抗值、微粒子、TOC 總有機碳等

▽ 清大實驗室超純水系統配置圖：

其他實績與成功案例

鎮釱水處理公司致力研究工業用水技術，為不同產業客戶規劃專業超純水系統，更有海外套裝設備服務，滿足各類型產業及海內外需求